变极距（d）型平板电容传感器，当d0=1mm时，若要求测量线性度为0.1%。求：允许极距测量最大变化量是多少？

解：当变间距平板型电容传感器的Δd/d0<<1时，其线性度表达式为ef==(Δd/d0)×100% 由题意故得0.1%=(Δd/d0)×100%，即测量允许变化量Δd=0.001mm。